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发布单位:国家市场监督管理总局 国家标准化管理委员会     标准号:GB/T 41751-2022
本文件规定了利用高分辨X射线衍射仪测试氮化镓单晶衬底片晶面曲率半径的方法。 本文件适用于化学气相沉积及其他方法制备的氮化镓单晶衬底片晶面曲率半径的测试,氮化镓外延片晶面曲率半径的测试可参照本文件进行。
 发布日期:2022-10-12  实施日期:2023-02-01更新日期:2023-01-11
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